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Structure and properties of as-deposited and annealed a-C:H thin films

Koidl, P.; Dischler, B.; Bubenzer, A.; Klausmann, E.; Fink, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1984
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230019847
Erscheinungsvermerk 6th Internat.Conf.on Thin Films, Stockholm, S, August 13-17, 1984
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page