Structure and properties of as-deposited and annealed a-C:H thin films

Koidl, P.; Dischler, B.; Bubenzer, A.; Klausmann, E.; Fink, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1984
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230019847
Erscheinungsvermerk	6th Internat.Conf.on Thin Films, Stockholm, S, August 13-17, 1984