Clusterstrahldeposition als Methode zur Erzeugung duenner Schichten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1985 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230022164 |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Firma Siemens AG, Muenchen, 18.November 1985 |