Anwendung des LIGA-Verfahrens zur Herstellung von Mikrosensoren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1986 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230023061 |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Technologiefabrik Karlsruhe, 3.Juli 1986 |