Mikrofabrikation mit Roentgentiefenlithographie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1986 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230023113 |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Seminar fuer Festkoerperphysik, Universitaet Tuebingen, 23.Januar 1986 |