Mikrostrukturierung mit dem LIGA-Verfahren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1986 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230023304 |
| Erscheinungsvermerk | 4.VDI-Kolloquium 'Moderne Oberflaechen- und Duennschichttechnologien', VDI-Techn.Zentrum, Duesseldorf, 18.September 1986 |