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Mikrostrukturierung mit dem LIGA-Verfahren

Ehrfeld, W.; Schmidt, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1986
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230023304
Erscheinungsvermerk 4.VDI-Kolloquium 'Moderne Oberflaechen- und Duennschichttechnologien', VDI-Techn.Zentrum, Duesseldorf, 18.September 1986
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