Aufbau von Fertigungseinrichtungen fuer die Roentgentiefenlithographie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1987 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230023536 |
| Erscheinungsvermerk | Mikrofertigung: 3.Fachgespraech der KfK-Veranstaltungsreihe 'Technologietransfer durch Kooperation', SKT-KfK, Karlsruhe, 17.Oktober 1986 Vortr.: Siemens AG, Muenchen, 26.Januar 1987 |