KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Aufbau von Fertigungseinrichtungen fuer die Roentgentiefenlithographie

Muenchmeyer, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1987
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230023536
Erscheinungsvermerk Mikrofertigung: 3.Fachgespraech der KfK-Veranstaltungsreihe 'Technologietransfer durch Kooperation', SKT-KfK, Karlsruhe, 17.Oktober 1986 Vortr.: Siemens AG, Muenchen, 26.Januar 1987
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page