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Mikromechanik: Mikrofertigung nach dem LIGA-Verfahren

Ehrfeld, W.; Goetz, F.; Muenchmeyer, D.


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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1986
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230023538
Erscheinungsvermerk Vortr.: Robert Bosch GmbH, Schwieberdingen, 16.September 1986
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