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Das LIGA-Verfahren - eine neue Technik fuer die Fertigung von Mikrostrukturprodukten

Ehrfeld, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1986
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230023768
Erscheinungsvermerk TT-Fachgespraech, SKT-KfK, Karlsruhe, 17.Oktober 1986
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