Das LIGA-Verfahren - eine neue Technik fuer die Fertigung von Mikrostrukturprodukten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1986 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230023768 |
| Erscheinungsvermerk | TT-Fachgespraech, SKT-KfK, Karlsruhe, 17.Oktober 1986 |