KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Das LIGA-Verfahren - eine neue Technik zur Fertigung von Mikrostrukturprodukten

Ehrfeld, W.; Schelb, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1986
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230023903
Erscheinungsvermerk Vortr.: Arbeitskreis 'Duennschichttechnik' des Wirtschaftsverbandes Industrieller Unternehmen Baden e.V., Freiburg, 11.Dezember 1986
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page