Das LIGA-Verfahren - eine neue Technik zur Fertigung von Mikrostrukturprodukten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1986 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230023903 |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Arbeitskreis 'Duennschichttechnik' des Wirtschaftsverbandes Industrieller Unternehmen Baden e.V., Freiburg, 11.Dezember 1986 |