Das LIGA-Verfahren - eine neue Technik fuer die Fertigung von Mikrostrukturprodukten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1987 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230023904 |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Kolloquium, KFA-Juelich, 16.Januar 1987 Vortr.: Siemens AG, Muenchen, 26.Januar 1987 |