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Das LIGA-Verfahren - eine neue Technik fuer die Fertigung von Mikrostrukturprodukten

Ehrfeld, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1987
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230023904
Erscheinungsvermerk Vortr.: Kolloquium, KFA-Juelich, 16.Januar 1987 Vortr.: Siemens AG, Muenchen, 26.Januar 1987
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