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Ionenimplantation in Metalloxide

Meyer, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1987
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230024075
Erscheinungsvermerk Vortr.: Universitaet Duesseldorf, 4.Februar 1987
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