LIGA - ein neues Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturprodukten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1987 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230024141 |
| Erscheinungsvermerk | Seminar 'Synchrotronstrahlung - Grundstein der Mikromechanik' der Industrie- und Handelskammer Nordschwarzwald, Pforzheim, 17.Februar 1987 |