Mikrolithographische Herstellung isoporoeser Strukturen

Ehrfeld, W.; Hagmann, P.; Muenchmeyer, D.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1987
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230024157
HGF-Programm	12.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	DECHEMA Jahrestagung, Frankfurt, 14.-15.Mai 1987