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Mikrolithographische Herstellung isoporoeser Strukturen

Ehrfeld, W.; Hagmann, P.; Muenchmeyer, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1987
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230024157
HGF-Programm 12.04.01; LK 01
Erscheinungsvermerk DECHEMA Jahrestagung, Frankfurt, 14.-15.Mai 1987
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