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On damage and nucleation in sputtering

Hedbabny, H.J.; Darlinski, A.; Halbritter, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernphysik (IK)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1987
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230024192
Erscheinungsvermerk European Conf.on Applications of Surface and Interface Analysis, Fellbach, October 19-23, 1987 Book of Abstracts
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