On damage and nucleation in sputtering

Hedbabny, H. J.; Darlinski, A.; Halbritter, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Kernphysik (IK)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1987
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230024192
Erscheinungsvermerk	European Conf.on Applications of Surface and Interface Analysis, Fellbach, October 19-23, 1987 Book of Abstracts