Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhaeltnis und grosser Strukturhoehe durch Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1987 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230024414 |
| Erscheinungsvermerk | VDE/VDI-Fachkreis Mikroelektronik und Forschungsgesellschaft fuer Feingeraete-, Mikro- und Uhrentechnik e.V.; Vortragsveranstaltung: Mikromechanik, Stuttgart-Buesnau, 14.Januar 1987 |