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Herstellung von Mikrostrukturen mit grossem Aspektverhaeltnis und grosser Strukturhoehe durch Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung, Galvanoformung und Kunststoffabformung (LIGA-Verfahren)

Becker, E.W.; Ehrfeld, W.; Hagmann, P.; Maner, A.; Muenchmeyer, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1987
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230024414
Erscheinungsvermerk VDE/VDI-Fachkreis Mikroelektronik und Forschungsgesellschaft fuer Feingeraete-, Mikro- und Uhrentechnik e.V.; Vortragsveranstaltung: Mikromechanik, Stuttgart-Buesnau, 14.Januar 1987
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