Herstellung von Mikrostrukturprodukten nach dem LIGA-Verfahren: Neueste Entwicklungen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1987 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230024861 |
| Erscheinungsvermerk | Kolloquium 'Zukunftsweisende Herstellungsverfahren der Mikromechanik und der Mikroelektronik', VDI-Technologiezentrum, Duesseldorf, 15.September 1987 |