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Herstellung von Mikrostrukturprodukten nach dem LIGA-Verfahren: Neueste Entwicklungen

Ehrfeld, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1987
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230024861
Erscheinungsvermerk Kolloquium 'Zukunftsweisende Herstellungsverfahren der Mikromechanik und der Mikroelektronik', VDI-Technologiezentrum, Duesseldorf, 15.September 1987
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