X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1987 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230025030 |
| Erscheinungsvermerk | Workshop on Spectral, Spatial and Temporal Resolution with Synchrotron Radiation, Bad Honnef, October 19-21, 1987 |