Herstellung von Mikrostrukturen durch Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1987 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230025295 |
| Erscheinungsvermerk | Statusseminar Synchrotronstrahlung, Fachbereich Physik, Freie Universitaet Berlin, 10.-11.Dezember 1987 |