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Herstellung von Mikrostrukturen durch Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung

Ehrfeld, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1987
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230025295
Erscheinungsvermerk Statusseminar Synchrotronstrahlung, Fachbereich Physik, Freie Universitaet Berlin, 10.-11.Dezember 1987
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