Herstellung von Mikrostrukturen durch Roentgentiefenlithographie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1987 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230025296 |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Physikal.Kolloquium, Universitaet Freiburg, 14.Dezember 1987 |