ARXPS-Analyse der NbN-Sputterdeposition auf Dielektrika: Strahlenschaeden, Keimbildung, Epitaxie und Wachstum
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernphysik (IK) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230025599 |
| Erscheinungsvermerk | 52.Physikertagung gemeinsam mit der Fruehjahrstagung DPG, Duenne Schichten, Dynamik und Statistische Physik, Halbleiterphysik, Magnetismus, Metallphysik, Oberflaechenphysik, Tiefe Temperaturen, Vakuumtechnik, Energietechnik, Forschungsfoerderung in Europa, Karlsruhe, 14.-18.Maerz 1988 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd.23 (1988) TT-15.42 |