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ARXPS-Analyse der NbN-Sputterdeposition auf Dielektrika: Strahlenschaeden, Keimbildung, Epitaxie und Wachstum

Halbritter, J.; Hedbabny, H.J.; Rogalla, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernphysik (IK)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1988
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230025599
Erscheinungsvermerk 52.Physikertagung gemeinsam mit der Fruehjahrstagung DPG, Duenne Schichten, Dynamik und Statistische Physik, Halbleiterphysik, Magnetismus, Metallphysik, Oberflaechenphysik, Tiefe Temperaturen, Vakuumtechnik, Energietechnik, Forschungsfoerderung in Europa, Karlsruhe, 14.-18.Maerz 1988 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd.23 (1988) TT-15.42
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