Internationaler Stand der ICB-Deposition anhand von Anwendungsbeispielen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230025717 |
| Erscheinungsvermerk | VDI-Kolloquium 'Ionenstrahlgestuetzte Duennschichttechnologien - Fortschritte und Trends', VDI Technologiezentrum, Duesseldorf, 26.-27.Januar 1988 |