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Internationaler Stand der ICB-Deposition anhand von Anwendungsbeispielen

Gspann, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1988
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230025717
Erscheinungsvermerk VDI-Kolloquium 'Ionenstrahlgestuetzte Duennschichttechnologien - Fortschritte und Trends', VDI Technologiezentrum, Duesseldorf, 26.-27.Januar 1988
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