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ARXPS study of sputter deposition on dielectrics: damage, epitaxy and growth

Halbritter, J.; Hedbabny, H.J.; Rogalla, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernphysik (IK)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1988
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230025805
Erscheinungsvermerk Meeting of the Electrochemical Society, Atlanta, Ga., May 15-20, 1988 Extended Abstracts, Vol. 88-1 S.192 Journal of the Electrochemical Society, 135(1988) S.128C (Abstract)
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