ARXPS study of sputter deposition on dielectrics: damage, epitaxy and growth
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernphysik (IK) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230025805 |
| Erscheinungsvermerk | Meeting of the Electrochemical Society, Atlanta, Ga., May 15-20, 1988 Extended Abstracts, Vol. 88-1 S.192 Journal of the Electrochemical Society, 135(1988) S.128C (Abstract) |