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Microfabrication by synchrotron radiation lithography, electroforming, and molding processes (LIGA method)

Ehrfeld, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1988
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230026108
Erscheinungsvermerk Vortr.: DESY-Kolloquium, Hamburg, 23.Juni 1988
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