Microfabrication by synchrotron radiation lithography, electroforming, and molding processes (LIGA method)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230026108 |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: DESY-Kolloquium, Hamburg, 23.Juni 1988 |