Herstellung von Mikrostrukturen durch Roentgentiefenlithographie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230026380 |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Physikal.Kolloquium, Gesamthochschule Kassel, 7.Juli 1988 |