Mikrostrukturierung durch Tiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230026385 |
| Erscheinungsvermerk | Kolloquium des Instituts fuer Festkoerperforschung, KFA Juelich, 26.August 1988 |