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Mikrostrukturierung durch Tiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung

Ehrfeld, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernverfahrenstechnik (IKVT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1988
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230026385
Erscheinungsvermerk Kolloquium des Instituts fuer Festkoerperforschung, KFA Juelich, 26.August 1988
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