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Einsatz eines Elektronenstrahlschreibers zur Herstellung von Roentgenmasken

Bley, P.; Goetz, F.; Hein, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230027321
HGF-Programm 16.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Forschungsges.u.d.Fachausschuss 'Mikroelektronik und Mikromechanik' der VDE-VDI-Ges., Stuttgart, 11.Januar 1989
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