Galvanoformung in der Mikrostrukturtechnik

Harsch, S.; Ehrfeld, W.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1989
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230027367
HGF-Programm	16.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Fachtagung Galvanoformung, Frankfurt, 3.-4.April 1989