ARXPS-studies of sputtered TiN-layers
Halbritter, J.; Leiste, H.; Mathes, H. J.
; Walk, P.
; Walk, P.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Kernphysik (IK) Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230027499 |
| HGF-Programm | 13.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 16th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings (ICMC 89), San Diego, Calif., April 17-21, 1989 Book of Abstracts S.A22 Tagung 'Angewandte Oberflaechenanalytik', Kaiserslautern, 9.-12.Juli 1990 Book of Abstracts S.138 |