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ARXPS-studies of sputtered TiN-layers

Halbritter, J.; Leiste, H.; Mathes, H. J.; Walk, P.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Kernphysik (IK)
Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1990
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230027499
HGF-Programm 13.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 16th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings (ICMC 89), San Diego, Calif., April 17-21, 1989 Book of Abstracts S.A22 Tagung 'Angewandte Oberflaechenanalytik', Kaiserslautern, 9.-12.Juli 1990 Book of Abstracts S.138
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