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Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturuebertragung bei der Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung

Mohr, J.; Ehrfeld, W.; Muenchmeyer, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230027578
HGF-Programm 16.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Forschungsges.u.d.Fachausschuss 'Mikroelektronik und Mikromechanik' der VDE/VDI Ges., Stuttgart, 11.Januar 1989
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