Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturuebertragung bei der Roentgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230027578 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Forschungsges.u.d.Fachausschuss 'Mikroelektronik und Mikromechanik' der VDE/VDI Ges., Stuttgart, 11.Januar 1989 |