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The LIGA process for the production of microstructures with special respect to electroforming techniques

Bacher, W.; Ehrfeld, W.; Maner, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1989
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230027634
HGF-Programm 16.02.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Meeting of the European Chapter of the Photo Chemical Machining Institute (PCMI), Rottweil, June 13, 1989
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