The LIGA process for the production of microstructures with special respect to electroforming techniques
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230027634 |
| HGF-Programm | 16.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Meeting of the European Chapter of the Photo Chemical Machining Institute (PCMI), Rottweil, June 13, 1989 |