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Das LIGA-Verfahren - eine Technologie fuer die Herstellung vielseitig einsetzbarer Mikrostrukturen

Bacher, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1989
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230028506
HGF-Programm 16.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Fachhochschule Muenster, 14.Dezember 1989
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