Das LIGA-Verfahren - eine Technologie fuer die Herstellung vielseitig einsetzbarer Mikrostrukturen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1989 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230028506 |
| HGF-Programm | 16.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Fachhochschule Muenster, 14.Dezember 1989 |