Fabrication of a planar grating spectrograph by deep-etch-lithography with synchrotron radiation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230028808 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Conf. 'EUROSENSORS IV', Karlsruhe, October 1-3, 1990 |