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Fabrication of a planar grating spectrograph by deep-etch-lithography with synchrotron radiation

Anderer, B.; Mohr, J.; Ehrfeld, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1990
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230028808
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Internat.Conf. 'EUROSENSORS IV', Karlsruhe, October 1-3, 1990
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