Strukturierung planarer Polymerwellenleiter durch Roentgentiefenlithographie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230028809 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Fachtagung 'Polymere und Licht' der Gesellschaft Deutscher Chemiker, Bad Nauheim, 7.-9.Mai 1990 |