The Brookhaven superconducting X-ray lithography source (SXLS)

Murphy, J. B.; Bozoki, E.; Galayda, J.; Halama, H.; Heese, R.; Hsieh, H.; Kalsi, S.; Keane, J.; Moser, H. O.; Reusch, M. F.; Rose, J.; Schuchman, J.; Sharma, S.; Wang, J. M.

The Brookhaven superconducting X-ray lithography source (SXLS)

Murphy, J. B.; Bozoki, E.; Galayda, J.; Halama, H.; Heese, R.; Hsieh, H.; Kalsi, S.; Keane, J.; Moser, H. O.; Reusch, M. F.; Rose, J.; Schuchman, J.; Sharma, S.; Wang, J. M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1990
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230028818
HGF-Programm	16.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	2nd European Particle Accelerator Conf. (EPAC 90), Nice, F, June 12-16, 1990

Repository KITopen

The Brookhaven superconducting X-ray lithography source (SXLS)