Mikrostrukturtechnik mit Roentgentiefenlithographie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230028936 |
| HGF-Programm | 16.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Mikrotechnisches Kolloquium, Villingen-Schwenningen, 9.Mai 1990 |