Das LIGA-Verfahren: Eine Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230028979 |
| HGF-Programm | 16.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Besprechung 'Technologie der Mikroperipherik', Berlin, 29.Maerz 1990 |