| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230029409 |
| HGF-Programm | 16.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 11th Internat.Conf.on the Application of Accelerators in Research and Industry, Denton, Tex., November 5-8, 1990 |