Fertigung von Mikrostrukturen nach dem LIGA-Verfahren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230029600 |
| HGF-Programm | 16.02.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: ABB-Forschungszentrum, Heidelberg, 22.August 1990 |