Das LIGA-Verfahren, eine Basistechnologie zur Herstellung von Mikrostrukturen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1990 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230030037 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Elektrotechnisches Kolloquium, Universitaet Ulm, 12.Dezember 1990 |