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Herstellung von Mikrostrukturprodukten nach dem LIGA-Verfahren

Bacher, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230030270
HGF-Programm 16.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Paedagogische Hochschule Ludwigsburg, 7.Februar 1991
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