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Herstellung von Infrarot-Bandpassfiltern durch Roentgentiefenlithographie und Mikrogalvanoformung

Bacher, W.; Ruprecht, R.

Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230030271
HGF-Programm 16.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk DGO-Jahrestagung, Koenigswinter, 5.-7.Juni 1991

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