Mikrogalvanoformung bei der Herstellung von Mikrostrukturen nach dem LIGA-Verfahren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230030272 |
| HGF-Programm | 16.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | DGO-Jahrestagung, Koenigswinter, 5.-7.Juni 1991 |