Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1991 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230030273 |
HGF-Programm | 16.04.04 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Fachausschuss Mikrosystemtechnik von VDE/VDI und Hahn-Schickard-Gesellschaft, Stuttgart-Buesnau, 16.Januar 1991 |