KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Bewegliche Strukturen in LIGA-Technik

Bley, P.; Burbaum, C.; Mohr, J.; Wallrabe, U.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230030279
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Fachausschuss Mikrosystemtechnik von VDE/VDI und Hahn-Schickard-Gesellschaft, Stuttgart-Buesnau, 16.Januar 1991
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page