Bewegliche Strukturen in LIGA-Technik

Bley, P.; Burbaum, C.; Mohr, J.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1991
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230030279
HGF-Programm	16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Fachausschuss Mikrosystemtechnik von VDE/VDI und Hahn-Schickard-Gesellschaft, Stuttgart-Buesnau, 16.Januar 1991