The LIGA technique - a fabrication method for separation nozzles and other microstruktures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230030280 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Symp.on Micromachine Applications with some Emphasis on Micro Separating and Analyzing Systems, Saitama, J, February 2, 1991 |