Mikrooptische Komponenten aus PMMA, hergestellt durch Roentgentiefenlithographie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230030284 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | VDI-Tagung 'Werkstoffe der Mikrotechnik - Basis fuer neue Produkte', Karlsruhe, 24.-25.Oktober 1991 |