Mikromechanischer Stroemungssensor

Wallrabe, U.; Bley, P.; Himmelhaus, M.; Menz, W.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1991
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230030285
HGF-Programm	16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	VDI-Tagung 'Werkstoffe der Mikrotechnik - Basis fuer neue Produkte', Karlsruhe, 24.-25.Oktober 1991