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Micro-optical components fabricated by the LIGA-technique

Goettert, J.; Mohr, J.; Brenner, K.H.; Kufner, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230030286
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk French-German Workshop on Optical Measurement Techniques and Fibre Optics, Freiburg, March 5-6, 1991
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