Micro-optical components fabricated by the LIGA-technique

Goettert, J.; Mohr, J.; Brenner, K. H.; Kufner, S.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1991
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230030286
HGF-Programm	16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	French-German Workshop on Optical Measurement Techniques and Fibre Optics, Freiburg, March 5-6, 1991