Fabrication of microsensor and microactuator elements by the LIGA-process

Mohr, J.; Bley, P.; Burbaum, C.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1991
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230030294
HGF-Programm	16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Transducers 91, San Francisco, Calif., June 24-28, 1991