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LIGA-Verfahren

Bley, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230030389
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1.Statusbericht des Arbeitsschwerpunktes Mikrotechnik im KfK, Karlsruhe, 13.Februar 1991
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